Разрешение (выбираемое): 0,00005-0,1 мм; Линейность при 20 °C *¹: Полный диапазон-± 3 мкм Узкий диапазон-±(1,5+0,5ΔD) мкм; Погрешность позиционирования *²: ±4 мкм; Повторяемость (±2σ): ±0,36 мкм; Область измерения: 20 x 60 мм; Длина волны лазера: 650 нм, видимая; Частота сканирования: 3200 скан/с; Скорость сканирования: 452 м/с; Применимые лазерные стандарты: IEC, FDA; Дюймовый/Метрический: Метрический
