Диап. изм-й: 0,005 – 2 мм; Разрешение (выбираемое): 0,00001-0,01 мм; Линейность при 20 °C *¹: ±0,3 мкм; Погрешность позиционирования *²: ±0,4 мкм; Повторяемость (±2σ): ±0,03 мкм; Область измерения: 1 x 2 мм; Длина волны лазера: 650 нм, видимая; Частота сканирования: 3200 скан/с; Скорость сканирования: 76 м/с; Применимые лазерные стандарты: IEC, FDA; Дюймовый/Метрический: Метрический
